半导体产业是国民经济基础性支柱产业,因此在半导体生产过程中,集成电路集成度高,元器件对生产车间的无尘、湿度、静电等指标要求特别严。特别是由于微粒灰尘污染、静电放电损坏以及与此相关联的设备停机,是静电带来的三大问题。在所有的半导体生产领域,由于静电的负面效应,使得保持高水准的产品质量和成品率变得更加困难。缺少静电控制,将导致微粒污染,静电放电损坏和设备故障。要防止静电的产生,关键的就是要通过安装工业加湿器控制湿度和灰尘产生。
一般电子车间空气湿度在40-60%RH之间,不会产生静电和灰尘,产品质量也会有保证。国内外半导体企业在控制静电上,比较行之有效的一个措施就是使用工业加湿器加湿除尘,防静电,而比较普遍的加湿器类型就是干雾加湿器。杭州嘉友雾王推出的干雾加湿器已经应用到了国内不少半导体生产企业。
雾王干雾加湿器作为专业的电子车间加湿器,蒸发快、湿度控制效果好的特点,不管是除尘还是除静电、防静电,速度快、效果好。并且可以实现湿度自动感应控制,加湿范围广,水电利用率高,整体运行费用低。
目前,全球半导体产业的发展靠两大轮子推动,一是不断缩小芯片特征尺寸,二是不断扩大晶圆尺寸。不管哪个轮子推动,防止静电都将是影响半导体制造技术发展的关键。相信在工业加湿器等新产品、新技术的不断更新下,会更好解决半导体静电问题,进步一提高电子产品的产量和质量。
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